Настольная сканирующая система Alicona InfiniteFocus
Bruker Alicona InfiniteFocusSL
Простой и быстрый бесконтактный контроль формы и качества поверхности
Высокая плотность получаемых точек
До 500 миллионов измерительных точек обеспечивают детализированное измерение с микронными и субмикронными допусками при сохранении большого рабочего расстояния. Благодаря высокой плотности точек, достигаемой методом Focus-Variation, операторы получают стабильно высокое горизонтальное и вертикальное разрешение даже при работе с большими измерительными объемами.
Измерение поверхностей с крутыми углами наклона
Использование разнонаправленного освещения позволяет эффективно проводить измерения даже на сложных поверхностях. Максимальный измеряемый боковой угол не ограничен числовой апертурой объектива. В зависимости от типа поверхности пользователи могут измерять участки с углами наклона до 87°.
Полное измерение формы с технологией Real3D
Функция Real3D позволяет проводить измерения с различных ракурсов. Отдельные сканы автоматически объединяются в единый 3D-массив данных. Высокоточные калиброванные оси вращения и наклона обеспечивают автоматизированное, воспроизводимое и прослеживаемое измерение объекта целиком.
Общее описание
InfiniteFocusSL — это оптическая система для простого, быстрого и метрологически прослеживаемого пространственного измерения формы и качества микроструктурированных поверхностей.
Оборудование позволяет бесконтактно измерять как геометрию, так и шероховатость изделий.
Дополнительно пользователь получает цветные изображения контролируемых поверхностей с высокой контрастностью и расширенной глубиной резкости.
Большое рабочее расстояние (до 33 мм) в сочетании с полем измерения 50×50 мм обеспечивает широкий спектр применений. Измерения выполняются за секунды, а наличие коаксиального лазера для быстрой и простой фокусировки повышает удобство эксплуатации.
Благодаря интерфейсу автоматизации InfiniteFocusSL может использоваться для полностью автоматических измерений непосредственно в производственной среде.
Технические характеристики
| Параметр | Bruker Alicona InfiniteFocusSL |
|---|---|
| Принцип измерения | Бесконтактный, оптический, пространственный, на основе технологии Focus-Variation |
| Измерительный объём, объективы RL (X×Y×Z) | мот.: 50×50×155 мм (Z: 25 мм мот., 130 мм ручн.) = 387 500 мм³ |
| Измерительный объём, объективы SXRL/AXR (X×Y×Z) | мот.: 50×50×120 мм (Z: 25 мм мот., 95 мм ручн.) = 300 000 мм³ |
Характеристики объективов
| Параметр | 10x | 20x | 50x | 2xSX | 4xAx | 5xAX | 10xAX | 20xAX | 50xSX |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Рабочее расстояние, мм | 17,5 | 16 | 10,1 | 34 | 30 | 34 | 33,5 | 20 | 13 |
| Поле зрения (X, Y), мм | 2 | 1 | 0,4 | 10 | 4,87 | 3,61 | 2 | 1 | 0,4 |
| Площадь поля зрения, мм² | 4 | 1 | 0,16 | 100 | 23,72 | 13,03 | 4 | 1 | 0,16 |
| Вертикальное разрешение, нм | 100 | 50 | 20 | 3500 | 620 | 460 | 130 | 70 | 45 |
| Погрешность шага по высоте (1 мм), % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
| Макс. измеряемая область, мм² | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 |
| Мин. измеряемая шероховатость (Ra), мкм | 0,3 | 0,15 | 0,08 | – | – | – | 0,45 | 0,25 | 0,15 |
| Мин. измеряемая шероховатость (Sa), мкм | 0,15 | 0,075 | 0,05 | – | – | – | 0,25 | 0,1 | 0,08 |
| Мин. измеряемый радиус, мкм | 5 | 3 | 2 | 20 | 12 | 10 | 5 | 3 | 2 |
Функциональные возможности
Каждый измерительный прибор Alicona объединяет в себе функции:
-
измерителя топографии поверхности;
-
системы измерения шероховатости;
-
системы трёхмерного контроля геометрических допусков;
-
системы микрокоординатных измерений.
Технология Focus-Variation основана на малой глубине резкости оптической системы и вертикальном сканировании. В процессе изменения фокуса регистрируется топографическая и цветовая информация об объекте.
Ключевым компонентом системы является прецизионная оптика, включающая различные линзовые системы. Возможность установки сменных объективов позволяет проводить измерения с требуемым уровнем разрешения.